KOSAKA LAB ET 200A 微细形状测定机（探针接触式台阶仪） 株式会社小坂研究所（KOSAKA）是于 1950 年创立的公司，也是日本***家发表光学 杠杆表面粗糙度计，是一家具有悠久历史与技术背景的专业厂商,主要有测定/自动/流体三大 部门。其中测定部门为***代表性单位且在日本精密测定业占有一席无法被取代的地位。 设备特点： KOSAKA ET200A 基于 Windows 操作系统为多种不同表面提供全面的形貌分析，包括 半导体硅片、太阳能基板、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、 薄膜/化学涂层、平板显示、触摸屏等。使用金刚石（钻石）探针接触测量的方式来实现高 精度表面形貌分析应用。ET200A 能***可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨 损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。 ET200A 配备了各种型号探针，提供了通过过程控制接触力和垂直范围的探头，彩色 CCD 原位采集设计，可直接观察到探针工作时的状态，更方便准确的定位测试区域。 l 电脑架、防震桌为选配件 l 可选择独立 8”萤幕显示探针下针位置，也可集成于电脑萤幕中呈现 ?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????? 规格 一、样品台： 1. 样品台尺寸：φ160mm 2. 工件尺寸：φ200mm 3. 工件厚度：52mm 4. 工件重量：2kg 5. 倾斜调整范围：±2°(±5mm/160mm) 6. 样品台材质：黑色硬质铝 7. 手动旋转：360°(手动粗调)、±5°(微调，最小约0.5°) 二、传感器（pick up）： 1. 原理：直动式传感器 （***） 2. Z方向测定范围：Max. 600?m 3. Z方向最小分辨率：0.025nm (2,000,000放大倍率时) 4. 测定力： 10uN ~500uN 5. 触针半径：2 ?m 60° 钻石针头 （另有多种可选） 6. 驱动方式：直动式 7. 再现性：1σ= 0.2nm (1um以下台阶时) 三、X 轴 (基准轴/测量轴)： 1. 移动量(测长)：100mm (±50mm) 2. 真直度：0.2?m/100mm(全量程)，5nm/5mm (局部) 3. 移动,测定速度：0.005~20mm/s 4. 线性尺(linar scale)：X方向分辨率 0.1?m 5. 位置重复误差：±5um 四、Z轴：1. 移动量：54mm 2. 移动速度：max.2.0mm/S 3. 检出器自动停止机能 六、Y轴：（手动定位用） 1. 移动量：25mm（±12.5mm） 七、工件观察： 1. 彩色1/3”CCD，x4物镜倍率 2. 综合倍率：约320倍 (使用19” monitor时) 3. 视野：1.2*0.9mm 4. 观察方向：右侧斜视 5. 照明：白色LED（可使用软件调整明暗度） 八、软件功能简介： 1. 型号：i-STAR31 2. 可设定测量条件菜单、重复测量设定、解析菜单 3. 可设定下针座标，实现定位后自动测量及解析功能 4. 可设定低通滤波，过滤噪音及杂讯 5. 具有返回测量启始点功能 6. 显示倍率：垂直方向50~2,000,000倍、纵方向1~10,000倍 7. 解析功能：主要图型、段差解析、粗糙度解析、内应力分析、内建多种段差解析菜单可 选 九、床台：一体花岗岩 十、防振台(选购)：落地型或桌上型 十一、电源：AC220V±10%，50/60HZ，300VA 十二、本体外观尺寸及重量： W500×D440×H610mm, 120kg，一体花岗岩低重心结构 (不含防震台)