| 产品特性：无 | 是否进口：否 | 产地：日本 |
| 加工定制：否 | 类型：白光干涉仪 | 品牌：zygo |
| 型号：12寸 | 品种：其他干涉仪 | 测量范围：200mm |
| 测量分辨率：0.1nm | 最近工作距离：0.1mm | 用途：镜片行业 |
Zygo 白光干涉仪是一种用于对各种精密元器件表面进行形貌测量的仪器，它基于白光干涉技术原理。其光源发出的光经扩束准直后通过分光棱镜分成两束，一束经被测表面反射回来，另一束光经参考镜反射，两束折射光最终汇聚并形成干涉，光学显微镜将被测表面的形貌特征转换为干涉条纹信号，通过测量干涉条纹的变化来***测量表面三维形貌。
白光干涉仪具有以下一些特点：
? 非接触测量：避免损坏物体；
? 三维表面测量：可测量表面高度范围通常为 1nm -200μm；
? 多视场镜头：方便物镜快速切换；
? 纳米级的分辨率：垂直分辨率可达到 0.1nm；
? 高速数字信号处理器：只需几秒钟就可以完成测量；
? 扫描器：闭环控制系统；
? 工作台：通常采用气动装置，具有抗震、抗压力的性能；
? 测量软件：基于 windows 操作系统的用户界面，操作相对简单快捷。
不同型号的 Zygo 白光干涉仪可能在具体参数上存在差异，以下是清华摩擦学***实验室的三维白光干涉表面形貌仪 Zygo NexView 的部分参数，供你参考：
? 工作台行程：200mm×200mm×100mm；
? rms 重复精度：0.005nm；
? 垂直扫描范围：0-20mm；
? 垂直分辨率：0.1nm；
? 扫描速度：纵向 96μm/sec；
? ra 测试精度：≤0.1nm；
? 反射率要求：0.05%-***；
? 镜头组：2.75x、10x、50x、100x。
Zygo 白光干涉仪适合监测的样品按行业可分为消费电子产品类、半导体封装、超精密机械加工（机械、光学）、微结构材料等。例如消费电子产品类中的智能电子产品玻璃外壳、高组装要求的超光滑薄片等。
